無塵潔凈室基本常識

無塵潔凈室

無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

基本常識

一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。

二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的最好凈化設備之一，它可以最大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域，達到生產車間所要求的生產潔凈環境。

四，無塵潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

伍.每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

管理制度規范

一、目的：在生產過程中做好衛生監測與管理，防止交叉污染，對產品質量起到重要的作用，因此特質定無塵潔凈室潔凈區工藝衛生管理制度。

二、范圍：適用于潔凈車間的人流，物流及車間的環境，設施潔凈有關的其它元素的管理

三、工作程序：

1、進入潔凈區工作的人員須經過體檢，取得健康證后才能上崗，每年復查一次，如果不合格者，必須調出，患有感冒的工作人員不得進入潔凈區工作。

2、潔凈區每個人所占面積不得少于4平方米

3、潔凈區內工作服管理見《潔凈區工作服管理制度》

4、每天下班后潔凈車間要用紫外燈消毒60分鐘，并填好“紫外燈消毒記錄”每月用甲醛熏蒸一次，時間半個小時，并填寫“熏蒸消毒記錄”

5、人流出入潔凈區必須按以下程序和要求進行。

人進-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔凈服-------手消毒-------風林

潔凈區------出門口------脫潔凈服-------穿外衣-----換鞋-------人出

6、消毒液的配制由專人負責，采用0.3?消毒液進行消毒

7、物流進入潔凈區必須按以下程序和要求進行：

物品-----脫外包裝室-----雙層傳遞窗------潔凈區-------雙層傳遞窗------包裝室

8、進入潔凈區的零件及原輔材料，必須脫外包裝經雙層傳遞窗，生產出來的產品需經包裝封口后從傳遞窗流出

9、每天下班后，操作工做好工作臺面，地面，凳子的清潔工作，每周墻壁頂棚清潔一次，并填寫“潔凈車間衛生記錄”

10、凡進潔凈區都不得留長指甲，不得涂指甲油，不得戴戒指，手鐲，手表，項鏈，不準吃東西，不得大聲喧嘩，不得穿工作服離開潔凈區或未穿工作服進入潔凈區，口罩配戴必須規范

11、潔凈區的周轉箱應用無孔帶蓋周轉箱，不得與非潔凈區內的周轉箱交叉使用。

12、周轉箱在保證其潔凈度的前提下，每周清洗不少于1次，保證其潔凈度，并填寫“工作器具清洗消毒記錄”

13、潔凈區的工裝每天下班后操作工要做維護保養，保持工裝潔凈

14、凡進入潔凈區檢測和生產用的壓縮空氣都需經過凈化處理

15、潔凈車間在生產過程中，零配件掉在地上必須清洗后方可復用，裝配時產品不得與拖地

16、潔凈區操作工每隔2個小時，須用酒精擦拭手消毒一次，以防止人手汗或表皮脫落對產品質量造成影響

17、每天下班時，必須將制品放在周轉箱內，并加蓋，防止污染

18、凈化車間內的照明裝置每二個月檢查保養一次，以保證使用的完全，潔凈和照明度

19、紫外燈應每個編號，具體記錄其開始使用時間，累計使用時間，使用超過800小時應更換，也可以每年檢測一次紫外線強度，強度不到的應更換，燈具